OTFC-***0光學(xué)鍍膜機(jī)配置

**8 2927 *0** *** 808* 7*90王經(jīng)理

真空室：SUS*0*,Ф***0**800MM

工件架：Ф**00

工件架轉(zhuǎn)速：*0rpm to *0rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS**0A

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長(zhǎng)范圍: **0nm to **00nm |反射式

水晶式膜厚計(jì)：XTC/*+*點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源：2套日本電子2*P雙槍

離子源：2* 寸光馳RF離子源

排氣系統(tǒng)：機(jī)械泵*個(gè)，擴(kuò)散泵Polycold 27*機(jī)械泵+愛(ài)德華配套羅茨泵

性能

達(dá)到壓力：7. 0X*0-*Pa以下

排氣時(shí)間：20分(大氣壓~*. *X *0-*Pa)

基板溫度：最高: **0C

工作條件

電源：*相, 200v, *0/ *0Hz,約*20KVA

水流量：*80升/分以上

空氣壓力：0.*MPa以上

重量：約**000kg

二手機(jī)械庫(kù)存明細(xì)

雙面拋光機(jī)系列：

日本：hamai**B speedfam**B 2*B 28B *0B *0B 雙面拋光研磨機(jī)

德國(guó)：Peter Wolters **9/*20系列雙端面拋光機(jī)

國(guó)產(chǎn)：金研/宇晶9.*B 9S 9B **B **B **B 20B

鍍膜機(jī)械系列：

日本：光弛OTFC-**00/***0/2**0

德國(guó)：萊寶：**00

臺(tái)灣：龍翩LP-**00/***0/*800

韓國(guó)：韓一 *200 吉印通20*0

南光：**00/**00

檢測(cè)儀器：

日本島津UV-*800 UV-*900i UV-2*00i分光光度計(jì)

日 立 ：2900/*000/*00*/***0 光譜儀

二次元/三次元（20*0/*020/*0*0.......）

一批二手仿形機(jī)*20/*7*MM

二手精雕機(jī)：久久精工

一批無(wú)塵潔凈臺(tái)2.****.2**.9*米

一批*0-**槽半自動(dòng)超聲波清洗機(jī)

一批DISCO自動(dòng)切割機(jī)***0 **20