這款極紫外EUV相機(jī)是專業(yè)為EUV深紫外成像而設(shè)計(jì)的EUV相機(jī)探測(cè)器和EUV深紫外相機(jī),它與EUV成像軟件一起組成深紫外EUV成像系統(tǒng)..

極紫外EUV相機(jī)特點(diǎn)（孚光精儀公司）

在線EUV光束成像

各種空間分辨率

直接光束曝光保護(hù)

可定義GOI感興趣區(qū)域

可調(diào)抗異常電路

極紫外EUV相機(jī)參數(shù)CRYCAM-X*-*.2（孚光精儀公司）

視場(chǎng)FOV: 直徑2mm

空間分辨率:*.2um

工作溫度:0-*0攝氏度

圖像傳感器:*/2'' COMS單色圖像傳感器

成像分辨率:*288x*0*2像素

像素大小:*.2x*.2um

圖像傳感器尺寸:*.7x*.*mm

最大幀頻:*0fps

最小曝光時(shí)間:*8us

動(dòng)態(tài)范圍:8bit 或 *0bit

像素時(shí)鐘:*~*8MHZ

控制接口:MPE-GARRY MICRO-T

計(jì)算機(jī)接口:USB2.0

軟件:EUV成像軟件

閃爍體成像屏: LuAG:Ce 和或YAG:Ce熒光屏

可探測(cè)電子能量:高達(dá)*0Kev

尺寸:2*0x**x90mm (LxWxH)

重量:*.*kg

（孚光精儀公司）供圖

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