通過混合一定比例的三甲胺，三乙胺，和碳酸二甲酯，合成四甲基銨和三乙基單甲基銨碳酸單甲酯混合物中間體。然后經(jīng)過水解，純化，電解工序得到四甲基氫氧化銨和三乙基單甲基氫氧化銨混合銨顯影液溶液。同時也可通過加入碳酸二乙酯得到更多種類烷基結構的烷基氫氧化銨水溶液。所得到的不同鏈長結構的烷基氫氧化銨混合銨顯影液具有生產(chǎn)價格低，工藝簡單，金屬含量低，適合細精度窄線寬要求的短波長光源工藝的顯影需求。